显微机械加工传感器MEMS　MMS(Micro Machined Sensor)e99c【中国自动化网社区】43ec47【http://sns.ca800.com】9e8c

随着电子产品的微型化，空调和电子血压计等产品上装载的检测气体和流体压力的压力传感器也都有微型化的趋势。31【中国自动化网社区】4edc97【http://sns.ca800.com】0982a38

欧姆龙很早就开始研发具备各种特性的静电容量型压力传感器和加速传感器。但是，静电容量型压力传感器是通过读取因压力而变形的可动电极和固定电极之间的静电容量的数据的细微变化来实现的，由于受机器本身构造的限制，要做到保证灵敏度的同时没有降低，实现设备的微型化是非常困难的。31【中国自动化网社区】4edc97【http://sns.ca800.com】0982a38

而采用欧姆龙独自研发的圆环形薄膜构造，不但能实现准确检测所不可缺少的直线性输出，并且只有以往产品的1/10(2.5mm角)，超小型同时也是世界精确度最高的。71【中国自动化网社区】da2b90【http://sns.ca800.com】4aec9b

[晶片]71【中国自动化网社区】da2b90【http://sns.ca800.com】4aec9b

欧姆龙开辟的MEMS领域71【中国自动化网社区】da2b90【http://sns.ca800.com】4aec9b

显微机械加工传感器MEMSMMS(Micro Machined Sensor)78【中国自动化网社区】1c29dd【http://sns.ca800.com】c921e42

显微机械加工继电器MEMSMMR(Micro Machined Relay)78【中国自动化网社区】1c29dd【http://sns.ca800.com】c921e42

智慧的结构-显微机械加工继电器MEMS　MMR(Micro Machined Relay)78【中国自动化网社区】1c29dd【http://sns.ca800.com】c921e42

在逐步推进机器的微型化和信息传送的高速化(信号的高频化)的测量通信市场里，人们对机器的关键零部件的微型化和高速化(高频信号的适用化)也提出了更高要求。欧姆龙利用超精密加工技术来推进继电器、开关等自动控制机器的微型化和高速化的研发78【中国自动化网社区】1c29dd【http://sns.ca800.com】c921e42

显微机械加工继电器通过运用自有的高效制动器(EAGLE)和高频低损结构(HF结构)，尽管是世界最小的型号(*1)，却实现了优异的高速性能(插入损失-0.5dB/2GHz、绝缘-45dB/2GHz)。欧姆龙公司已对其进行了1亿次的开关试验以确保其不会发生性能的退化，现在针对该技术实用化的研发已经全面展开。81b【中国自动化网社区】99f9fb【http://sns.ca800.com】ecf8a0e

欧姆龙将进一步推进继电器的小型化和高速化的研发。81b【中国自动化网社区】99f9fb【http://sns.ca800.com】ecf8a0e

(*1)有触点继电器中81b【中国自动化网社区】99f9fb【http://sns.ca800.com】ecf8a0e

[显微机械加工继电器(2×3mm)]81b【中国自动化网社区】99f9fb【http://sns.ca800.com】ecf8a0e

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显微机械加工继电器MEMSMMR(Micro Machined Relay)81b【中国自动化网社区】99f9fb【http://sns.ca800.com】ecf8a0e